近期，中微公司控股子公司超微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“超微公司”）與上海臨港新片區管委會簽署戰略合作協議，將在臨港建設電子束和光學量檢測設備研發制造基地項目，項目總投資10億元。

　　據芯辰大海不完全統計，如果算上超微公司準備建設的“電子束和光學量檢測設備研發制造基地”，那么中微公司將有5大生產基地，其他四大分別是：中微金橋生產基地、中微上海臨港生產和研發基地、中微南昌生產和研發基地、中微成都生產基地暨西南總部。

　　那么，中微公司這五大基地的現狀究竟如何呢？芯辰大海從中微公司財報、中微公司官網、官方媒體報道等收集了與之相關的公開信息，以供讀者分析。

　　上海金橋是中微公司當前的總部所在地，總面積約為3萬平方米。從公開資料來看，上海金橋應當兼具總部和生產基地的功能，是中微公司在上海臨港生產和研發基地、南昌生產和研發基地投產前的主要生產基地。

　　中微公司上市后，可能對金橋基地進行了升級，當時在招股書說明書中，中微公司的表述是：公司擬使用本次發行的部分募集資金用于以下項目：①高端刻蝕設備擴產升級（包括Primo AD-RIE、Primo SSC HD-RIE和Primo nanova 等）；② 高端MOCVD 設備擴產升級（包括高產能藍綠光 LED MOCVD、高溫 MOCVD、硅基氮化鎵功率應用MOCVD、基于LED顯示應用的 MOCVD設備 等）。

　　二、中微上海臨港生產和研發基地：未來核心

　　中微臨港產業化基地建設項目地塊總占地面積約157.5畝，規劃總建筑面積 約180,000 ㎡，目前該基地的生產和研發基地主體建設已基本完成，并于2024年 8 月正式投入使用。

　　依據該項目的環評報告，中微臨港產業化基地是一個綜合性的生產基地，能生產刻蝕設備、薄膜設備、MOCVD等在內的中微公司當前的主要產品。

　　產能方面，依據中微公司的定增公告，中微產業化基地建設項目（包括臨港生產和研發基地和南昌生產和研發基地）等離子體刻蝕設備、MOCVD設備、熱化學CVD設備等產品的產能規劃情況分別約為630腔/年、120腔/年、 220 腔/年、180腔/年。

　　需要注意的是，目前中微上海臨港生產和研發基地已經投產的項目，可能只是一期項目。因為無論是環評報告還是財報，對其的稱呼都是“臨港產業化基地一期項目”，從命名方式來看，該項目可能會有二期。

　　三、中微南昌生產和研發基地：專注于MOCVD

　　南昌中微半導體設備有限公司（簡稱“南昌中微”）是中微公司的全資子公司，于2017年12月注冊于南昌高新技術產業開發區，主要產品有用于 LED和功率器件外延片生產的 MOCVD 設備。

　　南昌中微公司于2018年3月在南昌開始設備制造，9月實現規模生產，2018年、2019年兩年實現年均產能100腔，年均產值10個億。公司于2019年通過了ISO9001、ISO14000、ISO45000體系認證。

　　根據中微公司2020年發布的定增報告，以及公司官網的介紹。南昌中微生產研發基地項目（項目二期）總投資約10億元，總建筑面積約14萬平方米，新廠房已于2022年5月逐步投產，并于2023年7月正式投入使用。依據中微公司的定增報告，二期項目的MOCVD產能可能是120腔/年。

　　四、中微成都生產基地暨西南總部項目：專注于薄膜設備

　　近期，中微公司宣布擬在成都市高新區投資設立全資子公司中微半導體設備（成都）有限公司，建設研發及生產基地暨西南總部項目，預計2025至2030年期間項目總投資約30億元項目總投資約 為30.5 億元。

　　中微公司表示，該基地將專注于高端邏輯及存儲芯片相關設備的研發和生產，涵蓋化學氣相沉積設備、原子層沉積設備及其他關鍵設備。

　　中微公司預計，該項目將在2025 年啟動建設，2027 年正式投入生產。預計到 2030 年，中微半導體設備（成都）有限公司的年銷售額將達到 10 億元。

　　五、超威公司臨港電子束和光學量檢測設備研發制造基地

　　近期，超微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“超微公司”）與上海臨港新片區管委會簽署戰略合作協議，將在臨港建設電子束和光學量檢測設備研發制造基地項目，項目總投資10億元。

　　據臨港新片區網站介紹，超微公司主要聚焦電子束關鍵尺寸量測（CD-SEM），電子束缺陷檢測（EBI），電子束缺陷復檢（DR-SEM）和高端光學量檢測等集成電路重大設備的技術開發和產品的市場化，并探索人工智能在圖像處理，設備智能化方面的廣泛應用。

　　公開資料顯示，超微公司是中微公司的控股子公司，持股比例為60%。目前尚不清楚超微公司是否有其他大型生產基地。

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